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新聞來(lái)源:未知 發(fā)布時(shí)間:2012-4-21 0:41:50 本站主頁(yè)地址:http://www.mhzljd.cn

以測(cè)試光于投射于待測(cè)物后在光學(xué)系統(tǒng)上所誘發(fā)角度偏向并結(jié)合CCD光強(qiáng)影像分析來(lái)描繪出其三維表面形貌。因待測(cè)物的表面輪廓變化正比于平行四邊形二次內(nèi)反射率,且反比于二次內(nèi)反射率對(duì)外角間之斜率,最后我們得到s偏光曲線反射率對(duì)外角的斜率的較為平緩,其角度靈敏度較小,但可量測(cè)之縱向高度范圍較大,所得之表面形貌變化反應(yīng)較為緩和與真實(shí)。雖然p偏光曲線反射率對(duì)外角斜率較為陡峭,其角度靈敏度較高,但可量測(cè)之縱向高度范圍較小,所得之表面形貌變化反應(yīng)較為強(qiáng)烈。由一個(gè)物鏡與一個(gè)透鏡所形成之共焦透鏡組合加入實(shí)驗(yàn)架構(gòu)讓行經(jīng)透明待測(cè)物之光線不因待則物表面變化而導(dǎo)致入射CCD之光線發(fā)生發(fā)散或收斂之現(xiàn)象,最后造成量測(cè)不準(zhǔn)的情形。而且本系列研究囊括穿透式與反射式架構(gòu),放大倍率可從十幾倍到一千多倍,并可視待測(cè)物大小調(diào)整倍率。其優(yōu)點(diǎn)為非破壞性、非接觸性量測(cè),無(wú)干涉,因此不需有繁複的相位解析,且組裝容易,易于操作又可作即時(shí)大面積之表面形貌量測(cè)。

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